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加速度传感器的基本力学模型是

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压电加速度传感器的固有频率计算方法研究2008 年第27 卷第8 期传感器与微系统(Transducer and Microsystem Technologies)1 9 压电加速度传感器实际上,传感器是一个多自由度系统,要计算传感器的基于声光效应的MEMS加速度传感器基础理论与关键技术研究-手机知网MEMS加速度传感器是一种典型的力学量传感器,具有体积小、成本低、②阐述了基于声光效应的MEMS加速度传感器的基本结构与工作原理,搭建了宏模型原理验证系统;。

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